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[264] バルク金属の精密酸化制御による酸素欠損型ジルコニアの開発
キーワード:ジルコニア、可視光応答型酸化物、透光性セラミックス
金属の酸化物プロセスを用いた可視光応答型酸化物材料の開発および用途拡大のため、酸素分圧制御装置を用いて膜厚および酸素欠損量を制御したZrO2-x材料の開発を試みる。
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