[G] Surface, Interface, and Catalyst

[265] Magneli phase titanium oxide produced by precisely controlling oxidation of metal Ti foil

*Yuta YAMADA¹, Mitsuhiro MATSUDA², Yuta HIMENO¹, Kenji SHIDA³, Motohide MATSUDA² (1. Dept. Mater. Sci. Eng. Kumamoto Univ., 2. Fac. Adv. Sci. Tech. Kumamoto Univ., 3. Fac. Eng. Kumamoto Univ.)

Keywords:酸化チタン、マグネリ相、酸化、光学特性、TEM

本研究では，大気中および所定の酸素分圧下での熱処理を組み合わせることにより，ルチル型TiO2薄膜の酸素欠損量や層厚を制御するとともに，マグネリ相チタン酸化物薄膜の作製を試みる。