[G] 表面・界面・触媒

[265] 金属Ti箔の精密酸化制御によるマグネリ相チタン酸化物の作製

*山田 裕太¹、松田 光弘²、姫野 雄太¹、志田 賢二³、松田 元秀² (1. 熊本大（院生）、2. 熊本大院先端科学、3. 熊本大技術部)

キーワード：酸化チタン、マグネリ相、酸化、光学特性、TEM

本研究では，大気中および所定の酸素分圧下での熱処理を組み合わせることにより，ルチル型TiO2薄膜の酸素欠損量や層厚を制御するとともに，マグネリ相チタン酸化物薄膜の作製を試みる。