[G] Surface, Interface, and Catalyst

[273] Effect of bias on nitriding of 304 stainless steel using die-pole plasma nitriding apparatus

*Kenta Maeda¹, Yoshihiro Nakayama², Naohiro Saruwatari², Yoshio Sugita³, Eiji Sekiya³ (1. Univ. of Yamanashi(M2), 2. Univ. of Yamanashi, 3. YS DENSHI Co.,Ltd)

Keywords:SUS304ステンレス鋼、双極子プラズマ窒化装置、S相、バイアス、XRD

双極子プラズマ窒化装置を用いたSUS304ステンレス鋼の窒化挙動に及ぼす、被処理材へのバイアス印加の影響について実験的に検討を行った。