[G] 表面・界面・触媒

[273] 双極子プラズマ窒化装置を用いたSUS304ステンレス鋼の窒化処理に及ぼすバイアスの影響

*前田 健太¹、中山 栄浩²、猿渡 直洋²、杉田 良雄³、関谷 英治³ (1. 山梨大(院生)、2. 山梨大、3. ワイエス電子工業)

キーワード：SUS304ステンレス鋼、双極子プラズマ窒化装置、S相、バイアス、XRD

双極子プラズマ窒化装置を用いたSUS304ステンレス鋼の窒化挙動に及ぼす、被処理材へのバイアス印加の影響について実験的に検討を行った。