[G] 表面・界面・触媒

[274] Sm-Fe薄膜の内部応力制御

*神谷 柾人¹、山口 健吾、片岡 竜一²、内田 貴大³、源馬 龍太³、松村 義人³ (1. 東海大(院生)、2. 東海大(学生)、3. 東海大)

キーワード：内部応力、Sm-Fe、スパッタリング、水素添加、薄膜

本研究では、成膜時の基板バイアスを任意の範囲で行い、成膜後のSm-Fe薄膜に定電流電解法を用いて水素添加を行った。その添加量に対する内部応力の変化について検討を行った。