[G] Surface, Interface, and Catalyst

[275] Influence of annealing in air on the microstructure of CrN-SiCN coatings prepared by r.f.-reactive sputtering

*Akihiko SAKURAI¹, Taiki TSUCHIYA², Seung　Won LEE², Kenji MATSUDA², Masahiro KAWASAKI³, Makoto SHIOJIRI⁴, Susumu IKENO⁵, Masateru NOSE⁵ (1. University of Toyama, 2. University of Toyama, 3. Applied Materials, Inc., 4. Professor emeritus Kyoto Institute of Technology, 5. Professor emeritus University of Toyama)

Keywords:CrN-SiCN複合膜、SiCN膜、微細組織

本研究ではCrN-SiCN膜およびSiCN膜の熱処理による微細組織の変化を調べることにより, CrN-SiCN複合膜における硬さの著しい低下の原因を明らかにすることを目的とした。