[G] 表面・界面・触媒

[275] 反応スパッタ法により作製したCrN-SiCN複合膜の微細組織に及ぼす大気中熱処理の影響

*櫻井 亨彦¹、土屋 大樹²、李 昇原²、松田 健二²、川崎 正博³、塩尻 詢⁴、池野 進⁵、野瀬 正照⁵ (1. 富山大学（院生）、2. 富山大学、3. Applied Materials, Inc.、4. 京都工芸繊維大学名誉教授、5. 富山大学名誉教授)

キーワード：CrN-SiCN複合膜、SiCN膜、微細組織

本研究ではCrN-SiCN膜およびSiCN膜の熱処理による微細組織の変化を調べることにより, CrN-SiCN複合膜における硬さの著しい低下の原因を明らかにすることを目的とした。