[G] Fundamentals of Mechanical Properties

[302] Observation of anisotropic fracture behavior of monocrystalline silicon by in-situ Vickers Indentation

*Akito NAKANO¹, Seiji MIURA², Ken-ichi IKEDA² (1. Hokkaido University, 2. Hokkaido University)

Keywords:その場観察、単結晶シリコン、Vickers Indentation、亀裂、破壊挙動、in-situ Vickers Indentation、異方性破壊挙動

透明圧子を使用したin-situ Vickers Indentationにより、単結晶シリコンの異方性破壊挙動の観察を試みた。その結果、圧痕対角線方向を<110>と<100>に設定した場合では、亀裂進展や破壊挙動の違いが観察された。