[G] 力学特性の基礎

[302] In-Situ Vickers Indentationによる単結晶シリコンの異方性破壊挙動の観察

*仲野 暁登¹、三浦 誠司²、池田 賢一² (1. 北大院工（院生）、2. 北大院工)

キーワード：その場観察、単結晶シリコン、Vickers Indentation、亀裂、破壊挙動、in-situ Vickers Indentation、異方性破壊挙動

透明圧子を使用したin-situ Vickers Indentationにより、単結晶シリコンの異方性破壊挙動の観察を試みた。その結果、圧痕対角線方向を<110>と<100>に設定した場合では、亀裂進展や破壊挙動の違いが観察された。