[G] 溶融・凝固プロセス 高温プロセス(2)

[350] Fe-Al融液表面でのAlN結晶の生成・成長挙動

*山形 武史¹、安達 正芳²、大塚 誠²、福山 博之² (1. 東北大　多元研(院生)、2. 東北大　多元研)

キーワード：AlN、フラックス法、電磁浮遊法、結晶成長

AlNはAlGaN系半導体の基板材料として期待される材料である．本研究ではAlN単結晶作製に向けた結晶成長プロセスの開発として，電磁浮遊法を用いてAlN結晶生成・成長挙動のその場観察を行った結果について発表する．