日本金属学会 2020年春期(第166回)講演大会

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[16] 株式会社日立ハイテク

HF5000、NX5000、HD2700、SEM/FIB/AFM相関解析(SAEMic)
日立ハイテクがご提供する高機能FIB-SEM複合装置Ethos NX5000, 走査透過電子顕微鏡HD2700、 SEMおよびAFMによる金属組織微細構造、金属腐食相関解析事例をご紹介いたします。