[P] P10~P15

[P10] Agナノ構造薄膜の下地層変化における熱処理加工による表面状態と光学的特性への影響

*杉田 優樹¹、山根 治起²、小林 政信¹ (1. 千葉工業大、2. 秋田産業技術センター)

キーワード：Agナノ構造薄膜、熱処理、表面状態、光学的特性

本研究では、ガラス基板上と Si 基板上に、また下地層 ZnO または SiO₂ に Ag 薄膜を作製し、熱処理を施すことでナノ構造化させ表面状態と光学的特性にどのような変化が現れるかを比較・検討した。