10:40 AM - 12:10 PM
[P118] Optical Properties of Pd-Doped Tungsten Oxide Thin Films
Keywords:水素、酸化タングステン、光学的特性、高周波マグネトロンスパッタリング、光透過率、薄膜
WO3は、水素との反応によってHxWO3となり、それに伴って光透過率が変化する。本研究ではPdをドープしたWOx薄膜を、高周波マグネトロンスパッタリング装置を用いて成膜し、光学的特性と構造解析を行った。
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