日本金属学会2021年秋期(第169回)講演大会

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ポスターセッション

10. Energy and Related Materials » Energy and Related Materials

[P] P100, P115~P120

Tue. Sep 14, 2021 10:40 AM - 12:10 PM ZoomRm.Poster

10:40 AM - 12:10 PM

[P118] Optical Properties of Pd-Doped Tungsten Oxide Thin Films

*Misaki TOISAWA1, Takuya Takuya2, Katsuhiko Nanaka3, Akira Yamaguchi3 (1. Iwate Univ.(M2), 2. Iwate Univ.(Present: East Japan Railway Co.), 3. Iwate Univ.)

Keywords:水素、酸化タングステン、光学的特性、高周波マグネトロンスパッタリング、光透過率、薄膜

WO3は、水素との反応によってHxWO3となり、それに伴って光透過率が変化する。本研究ではPdをドープしたWOx薄膜を、高周波マグネトロンスパッタリング装置を用いて成膜し、光学的特性と構造解析を行った。

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