[P] P100, P115~P120

[P118] Optical Properties of Pd-Doped Tungsten Oxide Thin Films

*Misaki TOISAWA¹, Takuya Takuya², Katsuhiko Nanaka³, Akira Yamaguchi³ (1. Iwate Univ.(M2), 2. Iwate Univ.(Present: East Japan Railway Co.), 3. Iwate Univ.)

Keywords:水素、酸化タングステン、光学的特性、高周波マグネトロンスパッタリング、光透過率、薄膜

WO₃は、水素との反応によってH_xWO₃となり、それに伴って光透過率が変化する。本研究ではPdをドープしたWO_x薄膜を、高周波マグネトロンスパッタリング装置を用いて成膜し、光学的特性と構造解析を行った。