[P] P124~P128

[P127] Effect of oxygen deficiency on ZnO thin film due to Zn addition

*Taiga KOBAYASHI¹, Haruki Haruki², Masanobu KOBAYASHI¹ (1. Chiba Institute of Technology, 2. Akita Industrial Technology Center)

Keywords:ZnO、透明電極、酸化物半導体、酸素欠損

現在、透明電極としてITOが広く使用されている。しかし、将来安定した供給が不安視されており、代替材料の研究が進められている。本研究では、ZnOにZnを添加して酸素欠損の影響について検討した。