[P] P124~P128

[P127] Zn添加によるZnO薄膜への酸素欠損の影響

*小林 泰河¹、山根 治起²、小林 政信¹ (1. 千葉工業大学、2. 秋田産業技術センター)

キーワード：ZnO、透明電極、酸化物半導体、酸素欠損

現在、透明電極としてITOが広く使用されている。しかし、将来安定した供給が不安視されており、代替材料の研究が進められている。本研究では、ZnOにZnを添加して酸素欠損の影響について検討した。