10:40 AM - 12:10 PM
[P86] Investigation of Si-DLC films by changing the source gas composition
Keywords:ダイヤモンドライクカーボン、Si-DLC、プラズマCVD、表面改質、トライボロジー
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)にSiを添加した、Si-DLCに関する研究を行った。原料ガス組成を変化させたことによる、密着性、摩擦摩耗特性をはじめとする各種特性の違いついて調査を行った。
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