[G] Mechanical Properties of Materials and Sturucture (1)

[17] Reliability analysis of electronic device by using synchrotron X-ray nano-CT
: Microstructural evolution of electrodes of MLCC

*Gaku OKUMA^1,2, Naoya SAITO², Kotaro MIZUNO³, Fumihiro WAKAI² (1. National Institute for Materials Science, 2. Tokyo Institute of Technology, 3. Taiyo Yuden Co., Ltd)

Keywords:焼結、X線CT、MLCC、微構造

放射光X線ナノCTによる電子デバイスの３次元構造解析が，性能や耐久性の向上，高信頼性設計に役立つ事例として，積層セラミックスコンデンサーの電極形成プロセス観察について紹介する．