[G] 力学特性と組織 (1)

[17] 放射光X線ナノCTによる電子デバイスの信頼性解析：MLCCの電極構造形成プロセス

*大熊 学^1,2、齋藤 直哉²、水野 高太郎³、若井 史博² (1. 物質・材料研究機構、2. 東京工業大学、3. 太陽誘電株式会社)

キーワード：焼結、X線CT、MLCC、微構造

放射光X線ナノCTによる電子デバイスの３次元構造解析が，性能や耐久性の向上，高信頼性設計に役立つ事例として，積層セラミックスコンデンサーの電極形成プロセス観察について紹介する．