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[18] 高圧巨大ひずみ加工によるSiリッチSiGeの準安定相形成
キーワード:SiGe、準安定相、bc8構造、HPT加工
TLZ法によるSiリッチのSiGe結晶についてHPT加工を行った.結晶構造解析から,準安定相であるbc8-SiGeが形成されていることがわかった.比抵抗測定より,bc8-SiGeは半金属的であることが示唆された.
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