[G] 電気・電子・光関連材料

[262] スパッタ法で作製したアモルファスMoTe₂薄膜の結晶化挙動

*齊藤 雄太¹、畑山 祥吾¹、牧野 孝太郎¹、内田 紀行¹、双 逸²、森 竣祐²、須藤 祐司²、コロボフ アレクサンダー^1,3、フォンス ポール^1,4 (1. 産総研、2. 東北大、3. ゲルツェン大、4. 慶應大)

キーワード：層状物質、アモルファス、遷移金属ダイカルコゲナイド、MoTe₂、結晶化

スパッタ法によってアモルファス相のMoTe₂薄膜を成長し、その後熱処理を行うことで結晶化させた。様々な分析手法を用いて、アモルファスから結晶化、そして構造変化していく挙動を調査した。