[G] Surface, Interface, and Catalyst(2)

[69] Double layered Sm-Fe thin films by ion bombardment.

*Masato KAMIYA¹, Ryuichi Kataoka², Seo Ono¹, Yoshihito Matsumura¹, Takahiro Uchida¹, Ryota Gemma¹ (1. Graduate school of Engineering, Tokai University, 2. School of Engineering, Tokai University)

Keywords:Sm-Fe、スパッタリング、イオン衝撃、薄膜、微細組織

本研究では、スパッタリング法により作製されたSm-Fe薄膜の成膜時の基板バイアスを任意の範囲で行うことでイオン衝撃による薄膜の微細組織が変化したことから薄膜の微細組織の2層化について検討を行った。