日本金属学会2021年秋期(第169回)講演大会

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一般講演

5.Materials Chemistry » Surface ,Interface and Catalysts

[G] Surface, Interface, and Catalyst(2)

Thu. Sep 16, 2021 9:00 AM - 11:20 AM Rm. E (ZoomRm.E)

座長:鶴田 健二(岡山大学)、李 昇原(富山大学)

9:00 AM - 9:15 AM

[69] Double layered Sm-Fe thin films by ion bombardment.

*Masato KAMIYA1, Ryuichi Kataoka2, Seo Ono1, Yoshihito Matsumura1, Takahiro Uchida1, Ryota Gemma1 (1. Graduate school of Engineering, Tokai University, 2. School of Engineering, Tokai University)

Keywords:Sm-Fe、スパッタリング、イオン衝撃、薄膜、微細組織

本研究では、スパッタリング法により作製されたSm-Fe薄膜の成膜時の基板バイアスを任意の範囲で行うことでイオン衝撃による薄膜の微細組織が変化したことから薄膜の微細組織の2層化について検討を行った。

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