[G] 表面・界面・触媒(2)

[69] イオン衝撃によるSm-Fe薄膜の2層膜化

*神谷 柾人¹、片岡 竜一²、大野 聖海¹、松村 義人¹、内田 貴大¹、源馬 龍太¹ (1. 東東海大学大学院工学研究科、2. 東海大学工学部)

キーワード：Sm-Fe、スパッタリング、イオン衝撃、薄膜、微細組織

本研究では、スパッタリング法により作製されたSm-Fe薄膜の成膜時の基板バイアスを任意の範囲で行うことでイオン衝撃による薄膜の微細組織が変化したことから薄膜の微細組織の2層化について検討を行った。