[G] Surface, Interface, and Catalyst(2)

[70] X-ray absorption fine structure analysis of Ar contained in metallic glass thin films prepared by UBM sputtering method

*Junpei KOBATA¹ (1. ORIST)

Keywords:UBMスパッタ法、金属ガラス、Ar、X線吸収微細構造解析

本講演では、UBMスパッタ法により形成したTi-Cu基金属ガラス膜について、非晶質構造内に含有しクラスターを形成しているArのX線吸収微細構造解析を行った結果について報告する。