[G] 表面・界面・触媒(2)

[70] UBMスパッタ法により作製した金属ガラス膜に内在するArのX線吸収微細構造解析

*小畠 淳平¹ (1. 大阪技術研)

キーワード：UBMスパッタ法、金属ガラス、Ar、X線吸収微細構造解析

本講演では、UBMスパッタ法により形成したTi-Cu基金属ガラス膜について、非晶質構造内に含有しクラスターを形成しているArのX線吸収微細構造解析を行った結果について報告する。