[G] Surface, Interface, and Catalyst(2)

[71] Reaction between CrN-SiCN coating and HSS substrate at high temperature

*Taichi Ito¹, Akihiko Sakurai², Taiki Tsuchiya³, Seungwon Lee³, Kenji Matsuda³, Susumu Ikeno⁴, Masateru Nose⁴ (1. University of Toyama(M1), 2. University of Toyama(Fujikoshi, Inc), 3. University of Toyama, 4. Professor emeritus University of Toyama)

Keywords:CrN-SiCN複合膜、耐熱性、透過型電子顕微鏡

HSS鋼基板上に成膜したCrN-SiCN複合膜が大気中熱処理により, 大幅な劣化が起こることを確認した。広範囲な組成比のCrN-SiCN複合膜およびSiCN膜を作製し, 熱処理による硬さの低下とその原因について調査した。