[G] Surface, Interface, and Catalyst(2)

[74] Plasma spectroscopic analysis of focus pulsed Nd:YAG laser nitriding of metalic surfaces

*Shinya Takeda¹, Ryo Endo¹, Takayuki Kiba², Naofumi Ohtsu² (1. Kitami Inst. of Tech., 2. Kitami Inst. of Tech.)

Keywords:レーザー誘起プラズマ、LIBS

Ti、Fe、Nb、Zr、無酸素Cuを用意し、レーザービームを凸レンズで集光した後、大気中で基板表面に照射した。発生したプラズマを分光器で測定して解析し、照射部位の表面化学状態をXPSで、表面構造をSEMで測定した。