[G] 表面・界面・触媒(2)

[74] プラズマ分光による集光パルスレーザー金属表面窒化処理の解析

*武田 慎弥¹、遠藤 良¹、木場 隆之²、大津 直史² (1. 北見工大(院生)、2. 北見工大)

キーワード：レーザー誘起プラズマ、LIBS

Ti、Fe、Nb、Zr、無酸素Cuを用意し、レーザービームを凸レンズで集光した後、大気中で基板表面に照射した。発生したプラズマを分光器で測定して解析し、照射部位の表面化学状態をXPSで、表面構造をSEMで測定した。