[G] Surface, Interface, and Catalyst(2)

[76] Micro-tribology between Si single crystals

*Takuma Oki¹, Makoto Takagi², Hiroyuki Iwata², Hiroyasu Saka³ (1. Graduate School of Engineering, Aichi Institute of Technology, 2. Faculty of Engineering, Aichi Institute of Technology, 3. Research Institute for Industrial Technology, Aichi Institute of Technology)

Keywords:マイクロ・トライボロジー、摩擦・摩耗・潤滑、極小領域分析、プローブ顕微鏡、表面の構造と結晶学、表面物性・反応

Si単結晶は高純度な無転位結晶であるため、それを用いた引掻き摩擦試験を荷重、速度、環境を変えて行い、探針と試料の微構造変化を調べることで、摩擦・摩耗現象そのものを基礎的な視点から解明しようと試みた。