[G] 表面・界面・触媒(2)

[76] Si単結晶間のマイクロトライボロジー

*沖 拓真¹、高木 誠²、岩田 博之²、坂 公恭³ (1. 愛知工業大学大学院工学研究科、2. 愛知工業大学工学部、3. 愛知工業大学総合技術研究所)

キーワード：マイクロ・トライボロジー、摩擦・摩耗・潤滑、極小領域分析、プローブ顕微鏡、表面の構造と結晶学、表面物性・反応

Si単結晶は高純度な無転位結晶であるため、それを用いた引掻き摩擦試験を荷重、速度、環境を変えて行い、探針と試料の微構造変化を調べることで、摩擦・摩耗現象そのものを基礎的な視点から解明しようと試みた。