[S6] S6 Tailoring of Nano/Micro-Space for Advanced Functions VI

[S6.2] Nano/Micro-Protrusion of A6063 Fabricated by Ga+ Ion Irradiation

*Shun-Ichiro TANAKA¹, shogo ODA² (1. Tohoku Iniversity, μSIC, 2. Graduate Student, Tohoku Univ. (YKKAP))

Keywords:イオン励起反応場、アルミニウム合金、ナノマイクロ突起体

Gaイオン励起反応場で6000系アルミニウム合金に創成されるナノマイクロ突起体について報告する。Top Downプロセスが主体となるも円錐体状突起体がBottom Up的に稠密面に多く形成される。