[S6] S6 Tailoring of Nano/Micro-Space for Advanced Functions VI

[S6.8] Effect of implantation order on nanostructure of Ag-Ni nano-composite in SiO₂ synthesized by dual ion implantation

*Tomoko YAMADA¹, Akihiro IWASE^2,3, Toshiyuki MATSUI², Masaki MAEKAWA⁴, Atsuo KAWASUSO⁴, Fuminobu HORI² (1. Osaka Pref. Univ., 2. Osaka Pref. Univ., 3. WERC, 4. QST-Takasaki)

Keywords:複合ナノ粒子、イオン照射、SiO₂アモルファス、照射順序

SiO₂へのAg及びNiイオンの照射順序を入れ替えて生成した粒子の微細構造解析を進めており，照射順序による違いとそれぞれの照射順での照射量に対する構造体の変化について解析した結果について報告する．