[G] Analysis/Characterization/Evaluation

[186] Crystallinity Evaluation of Mosaic Diamond Wafers by using HR-EBSD Technics

*Kouji TANAKA¹, Miwako Takano², Minoru Tachiki², Shinya Ohmagari¹, Hitoshi Umezawa¹, Hideaki Yamada¹ (1. Natl. Inst. of Adv. Ind. Sci. and Tech. (AIST), 2. Natl. Inst. for Maters. Sci. (NIMS))

Keywords:結晶性、高分解能EBSD、モザイク・ダイヤモンド基板、CVD、接合界面

高分解能EBSD法により、モザイク・ダイヤモンドの接合界面を解析した結果を発表する。