[G] 分析・解析・評価

[186] 高分解能EBSD法によるモザイク・ダイヤモンド基板の結晶性評価

*田中 孝治¹、高野 美和子²、立木 実²、大曲 新矢¹、梅沢 仁¹、山田 英明¹ (1. 産総研、2. 物材機構)

キーワード：結晶性、高分解能EBSD、モザイク・ダイヤモンド基板、CVD、接合界面

高分解能EBSD法により、モザイク・ダイヤモンドの接合界面を解析した結果を発表する。