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[S9.2] Ni-Alを用いたAlN結晶の液相成長技術開発のための融液熱物性測定と熱流体解析
キーワード:熱容量、熱伝導率、半球全放射率
筆者らは現在,Ni-Alをフラックスとして用いた新たなAlN結晶の液相成長法の開発に取り組んでいる.本研究では,フラックス融体の熱物性値を測定し,測定した熱物性値を用いてフラックス内部の熱流動解析を行った.
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