[S9] S9 Materials Science and high temperature processing of widegap materials III

[S9.10] Initial behavior of liquid-phase epitaxial growth of SiC using SiC fine particle-dispersed Si-Cr solvent

*Tomoyuki KASHIMURA¹, Shota YAMAGUCHI¹, Takeshi YOSHIKAWA¹ (1. IIS U.Tokyo)

Keywords:液相成長、合金溶液、エピタキシー、ナノ粒子

著者らのグループは、SiC微粒子のGibbs-Thomson効果を利用した新たなLPE法を示した．本講演では、SiC微粒子を分散したSi-Cr溶媒からの基板の成長挙動およびバルク液相中の分散SiC微粒子の粒径分布の変化を報告する．