15:50 〜 16:10
[S9.10] SiC微粒子分散Si-Cr溶媒を用いたSiCの液相エピタキシャル成長初期挙動
キーワード：液相成長、合金溶液、エピタキシー、ナノ粒子
著者らのグループは、SiC微粒子のGibbs-Thomson効果を利用した新たなLPE法を示した．本講演では、SiC微粒子を分散したSi-Cr溶媒からの基板の成長挙動およびバルク液相中の分散SiC微粒子の粒径分布の変化を報告する．
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