[S1] S1 New Materials Science On Nanoscale Structures and Functions of Crystal Defect Cores, II (2)

[S1.25] Step Terrace Structure on Oxide Single Crystal Surface using Ultrapure Water

*Yutaro KATSUYAMA¹, Yoshinori TOKUDA¹, Tomoharu TOKUNAGA², Takahisa YAMAMOTO² (1. Nagoya Univ., 2. Nagoya Univ.)

Keywords:表面処理、表面構造、組織観察・分析、酸化物単結晶、電子顕微鏡

超純水を用いたエッチング処理を薄膜成長用基板として用いられる種々の酸化物単結晶に対して行った。エッチング処理後の結晶表面に対して構造観察、解析を行い、その効果を検討した。