[S1] S1 機能コアの材料科学 II (2)

[S1.25] 超純水処理による酸化物単結晶表面へのステップテラス構造の構築

*勝山 湧太郎¹、徳田 祥典¹、徳永 智春²、山本 剛久² (1. 名古屋大工（院生）、2. 名古屋大工)

キーワード：表面処理、表面構造、組織観察・分析、酸化物単結晶、電子顕微鏡

超純水を用いたエッチング処理を薄膜成長用基板として用いられる種々の酸化物単結晶に対して行った。エッチング処理後の結晶表面に対して構造観察、解析を行い、その効果を検討した。