[KS] K2 Current states and issues of soft magnetic oxide materials for next-generated power electronics devices ~ Material design for further performance improvement ~

[K2.3] [Keynote Lecture] High Permeability of Ferrite Plated Films by Controlling Magnetic Anisotropy

*Nobuhiro Matsushita¹, Masanori Abe¹ (1. Tokyo Institute of Technology)

Keywords:フェライトめっき膜、高透磁率、磁気異方性

スピンスプレー法による軟磁性フェライト膜の作製時に基板付近に磁界印加することによる異方性制御によって200超の高透磁率が得られることを示すとともに、膜を高抵抗化するプロセス条件も明らかにする。