10:00 AM - 11:30 AM
[P3] Crystallization of Ge thin films using Au ultra thin films and electric characteristics
Keywords:Ge薄膜、結晶化
Si基板上のGe薄膜の上にAu薄膜を形成することで~15nm程度のGe超薄膜の作製を試みて, 作製した試料の表面を観察し, Ge超薄膜の電気特性を測定した.
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