10:00 〜 11:30
[P3] Au超薄膜を用いたGe薄膜の結晶化と電気特性
キーワード：Ge薄膜、結晶化
Si基板上のGe薄膜の上にAu薄膜を形成することで~15nm程度のGe超薄膜の作製を試みて, 作製した試料の表面を観察し, Ge超薄膜の電気特性を測定した.
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