[P] P47~P53

[P51] Pd-Cu合金膜の水素応答特性

*堀江 翼¹、石黒 孝² (1. 東京理科大学(院生)、2. 東京理科大学(教授))

キーワード：水素センサー、Pd、Pd-Cu

室温において純Pd膜は水素吸脱に伴う圧縮・引張応力により、次第に膜剥離が進行し、耐久性向上が課題である。本研究ではCuとの二元合金薄膜を作製し、水素吸脱に対する耐久性向上に成功した。