[P] P54~P56

[P54] AgSb触媒によるGe薄膜の結晶化とドーピング

*神林 泰地¹、弓野 健太郎² (1. 芝浦工業大(院生)、2. 芝浦工業大)

キーワード：Ge薄膜、結晶化

AgSb合金を触媒として金属誘起結晶化法(MIC法)を利用してGeを結晶化させ，n型Ge薄膜の作製を試みた。触媒の酸化によりどのような変化が見られるか調べた。