[P] P54~P56

[P56] ZnO 薄膜への Zn 添加による酸素欠損の影響

*小林 泰河¹、小出 拓史¹、山根 治起²、小林 政信¹ (1. 千葉工業大学、2. 秋田産業技術センター)

キーワード：ZnO、透明電極、酸化物半導体、酸素欠損

現在、透明電極としてITOが使用されている。しかし、将来安定した供給が不安視されている。その代替材料としてZnOが期待されている。本研究ではZnOにZnを添加して酸素欠損の影響について検討することを目的とした。