[P] P69~P73

[P73] ナノインデンテーション硬さ試験におけるパイルアップ補正法の開発

*松戸 玲菜^1,2、耿 殿程^1,2、笠田 竜太^1,2 (1. 東北大工、2. 東北大金研)

キーワード：Nano indentation、Elastic modulus、Pile-up、Hardness measurement

ナノインデンテーション硬さ試験では試験材料によってはパイルアップが生じることがある．本研究では、Sneddonの接触剛性式を拡張したパイルアップ補正法を提唱し、その有用性を明らかにすることを目的とする．