[P] P78~P81

[P80] 超音波接合された複線Cuワイヤの内部ひずみと接合過程

*石塚 智也¹、岩本 知広³、駒井 芹哉²、堀内 涼太郎²、佐藤 成男³、高尾 洋史⁴、橋本 陽一⁴、濱田 賢祐⁵ (1. 茨城大工(学生)、2. 茨城大工(院生)、3. 茨城大工、4. I-PEX(株)、5. 超音波工業(株))

キーワード：Ultrasonic、Internal strain、texture、stranded Cu wires、EBSD

複線CuワイヤとCu基板を超音波接合した。またその際の複線Cuワイヤの内部ひずみ分布をEBSDによって測定した。結果として、複線Cuワイヤ内に未接合部が残存していると接合体の内部ひずみが偏在することが分かった。