[S6] Materials Science on Plaston VIII

[S6.2] Micropillar Compression of 6H-SiC Single Crystals

*Kyousuke KISHIDA^1,2, Haruyuki INUI^1,2 (1. Kyoto Univ., 2. Kyoto Univ. ESISM)

Keywords:SiC、転位、マイクロピラー圧縮試験、塑性変形

6H-SiCについて単結晶マイクロピラー圧縮試験を荷重軸および試験片サイズの関数として行い，室温変形挙動を明らかにした．