[S6] プラストンの材料科学 Ⅷ

[S6.2] 6H-SiC単結晶の室温塑性変形挙動

*岸田 恭輔^1,2、乾 晴行^1,2 (1. 京大工、2. 京大ESISM)

キーワード：SiC、転位、マイクロピラー圧縮試験、塑性変形

6H-SiCについて単結晶マイクロピラー圧縮試験を荷重軸および試験片サイズの関数として行い，室温変形挙動を明らかにした．